次世代半導体デバイス用薄膜の研究開発に最適。低価格を実現。
光学的ストッパー機能装備「シート抵抗測定装置」はマイクロ4端子プローブを用いることで表面の抵抗分布を微細間隔(サブミクロン～数十ミクロン)で測定可能です。電子デバイスにおける薄膜表面の微細領域での抵抗分派測定が可能次世代の研究開発用途に限定で機能を絞り込むことで低価格を実現。光学的ストッパー機能が標準で装備されており、通電が無い場合でも一定以上の押し込みを停止して、プローブを守ります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
【特長】
○微細間隔(サブミクロン～数十ミクロン)で測定可能
○低価格を実現
○光学的ストッパー機能が標準装備
○次世代半導体デバイス(極浅接合Siウエハー、有機半導体)用薄膜の研究開発
○機能性薄膜(青色ダイオード用GaN,SiCパワーデバイス、太陽電池等)の研究・開発
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○微細間隔(サブミクロン～数十ミクロン)で測定可能
○低価格を実現
○光学的ストッパー機能が標準装備
○次世代半導体デバイス(極浅接合Siウエハー、有機半導体)用薄膜の研究開発
○機能性薄膜(青色ダイオード用GaN,SiCパワーデバイス、太陽電池等)の研究・開発
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