検査装置　「cp-30（顕微鏡型画像計測システム）」

最終更新日： 2022-08-30 11:06:13.0

カタログ

簡単操作、精密計測、自動計測可能。操作性に優れたＧＵＩ環境

検査装置「cp-30（顕微鏡型画像計測システム）」は、顕微鏡に取り付けられたＣＣＤカメラによって取りこまれた画像を解析して、線幅を自動計測するシステムです。画面内に設定した水平または、垂直ウインドウの輝度波形から、線幅を精密測定します。専用インターフェースでＸＹステージと連動しており、指定位置へ自動的に移動して幅計測を行うことができます。Ｚ軸のオートフォーカス機能により、厚みの違うワークも柔軟に対応できます。また、ウェハーのローダー・アンローダーも搭載可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

【特長】
○ウェハーのローダー・アンローダーも搭載可能
→ソフト上でウェハーマップのフォームを表示して、ポイント毎に自動計測可能
○位置ずれ補正マークや、計測ウインドウを設定し、白黒の輝度変化エッジ間の長さを計測することができる
○計測を行いたい画像毎に計測パターンを設定できる
○長さを計測したい部分に平行２直線をマウスで合わせるだけで計測することも可能
○操作性に優れたＧＵＩ環境

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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