ウエハ表面に可視でAFフォーカス！赤外顕微鏡でパターン寸法を画像測定
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の
『自動赤外顕微鏡』を取扱っています。
当製品は、8”貼り合わせウエハの表面に可視でAFフォーカスして
赤外顕微鏡でSi内部パターンのパターン寸法を画像測定します。
2カセット、エッジグリップチャック、エッジアライナを搭載しています。
【特長】
■対象ウエハ 8”
■2カセット
■位置決め精度±1μm
■軸ズレ測定±0.5μm
■線幅測定 0.2μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 価格情報 | |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■パターン寸法の画像測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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