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関連情報
■基板接合部機械研磨
+化学エッチング
+イオンミリング
光学顕微鏡、SEMによる観察
■FIBによる断面作成
SEMによる観察
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■FIBによる断面作成
SEMによる観察
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【その他事例概要】
<EBSDによる2つの黄銅材の比較>
■分析方法:EBSD分析
■結果
・相マップを確認したところ、試料1の⼀部に結晶構造の異なるβ相が見られた
・試料1にはβ相が含まれることから、両試料に材料物性の差があることが予想される
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<EBSDによる2つの黄銅材の比較>
■分析方法:EBSD分析
■結果
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【マップ例】
■IQマップ(イメージクオリティーマップ)
■IPFマップ(逆極点図方位マップ)
■Crystal Directionマップ(結晶方位マップ)
■GRODマップ
■極点図
■逆極点図
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【Cu板における圧縮前後での変化観察】
■IQマップ
■GRODマップ
■IPFマップ(Axis3方向)
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■IQマップ
■GRODマップ
■IPFマップ(Axis3方向)
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【金ワイヤーボンド接合部 解析例】
■逆極点図方位マップ(Inverse Pole Figure:IPFマップ)
■逆極点図を基にした結晶方位マップ
■Grain Reference Orientation Deviation:GRODマップ
■結晶粒内での結晶方位差によるマップ
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