実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合わせた組合せと周辺機器付属でさらに信頼性を向上。
業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。
長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。
乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やCVD装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決!
信頼性と目的にあわせた個別設計が特徴の真空ポンプユニット
大容量と堅牢性が特徴の油回転ポンプ・水封式真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・メカニカルブースタを組合せ専用排気装置を個別設計・製作
メカニカルブースタ多段化・封液循環ユニット・ダストフィルタ・圧力制御機構など豊富なオプションで幅広い用途に対応
大容量と堅牢性が特徴の油回転ポンプ・水封式真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・メカニカルブースタを組合せ専用排気装置を個別設計・製作
メカニカルブースタ多段化・封液循環ユニット・ダストフィルタ・圧力制御機構など豊富なオプションで幅広い用途に対応
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用途/実績例 |
※化学プラント ・乾燥 ・蒸留 ・脱気 ※大型冶金装置 ・脱ガス ・高速排気 ※大型成膜装置 ・硬質膜コーティング装置 ・CVD装置 |
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真空排気装置(真空ポンプユニット)
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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神港精機株式会社 東京支店