大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、豊富な経験と実績を柔軟なハード対応とサンプルテストで提供
水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現
デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。
実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保
電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に初期段階からテストを含めて対応
６インチウェハ対応の石英管の横型炉を標準とし、8インチ、縦型炉がオプション対応
高真空排気系も装備可能で、より純度の高い還元雰囲気熱処理が可能。
実績豊富な機器構成に加えボートローダーやデータロギング機構などの周辺機器も豊富にラインアップ。
不活性雰囲気アニールにも対応できる専用アニール装置。
高真空排気系も装備可能で、より純度の高い還元雰囲気熱処理が可能。
実績豊富な機器構成に加えボートローダーやデータロギング機構などの周辺機器も豊富にラインアップ。
不活性雰囲気アニールにも対応できる専用アニール装置。
| 価格情報 | お問合せ下さい。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
半導体 ・研磨後ウェハ熱処理 ・電極膜シンター ・高融点金属膜アニール ・化合物半導体べーく ＳＡＷデバイス ・誘電体ウェハアニール フレキシブルデバイス ・金属配線パターン焼成 こがた金属部品還元アニール |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 可変雰囲気熱処理装置 |
関連ダウンロード
水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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神港精機株式会社 東京支店
