ディスクリート素子から先端デバイスまで、R&Dに量産に。コンパクト、ハイクオリティ、多用途対応のCtoCタイプスパッタリング装置
基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種(マルチチャンバタイプ)のプロセスチャンバと搬送機構を共用。
高いレベルの膜質要求に対応、各種IC(ディスクリートIC、カスタムIC,化合物)の量産・試作。
次世代デバイスの開発(強誘電体膜開発、配向性窒化膜形成)に実績のソフト&ハード
UV-LED用テンプレート用AlN膜、センサー用酸化膜、高均一性電極膜、薄膜ヒーター、強誘電体(PZT)膜、その他多くの実績
ロードロック室1室、スパッタ室1室を基本とした200mmウェハ対応のスパッタリング装置。
基板搬送は枚葉(CtoC)タイプを基本とし、基板のサイズ、形状によりトレイによるCtoC搬送。
カソードは大型1元タイプと多元タイプが選択可能。基板加熱も高温および冷却が選択可能。
スパッタもDC,RFにパルスDCによるリアクティブスパッタモードより選択。緻密な酸化膜も形成可能で、化合物半導体のゲート酸化膜に対応
基板搬送は枚葉(CtoC)タイプを基本とし、基板のサイズ、形状によりトレイによるCtoC搬送。
カソードは大型1元タイプと多元タイプが選択可能。基板加熱も高温および冷却が選択可能。
スパッタもDC,RFにパルスDCによるリアクティブスパッタモードより選択。緻密な酸化膜も形成可能で、化合物半導体のゲート酸化膜に対応
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※半導体関係 ・化合物半導体研究試作量産 ・LED電極形成(表面・裏面・反射膜) ・ディスクリートIC電極形成(表面・裏面) UV-LED用AlNテンプレート作成 MEMS・センサー関係 ・センサー膜形成(酸化膜) ・薄膜ヒーター形成 ・強誘電体膜形成 |
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ロードロックタイプスパッタリング装置(枚葉搬送タイプ)デモ対応中
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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神港精機株式会社 東京支店