硫化物対応も可 薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜テスト、専用装置まで一括対応。グローブボックス標準装備。
薄膜固体二次電池の研究用の専用スパッタ装置
後処理が可能。多元カソードによる負極・電解質・正極の一括形成と成膜後の大気非暴露による基板の封止が可能。
Ｌｉの専用ターゲットによる事前成膜テストも対応可能（有償）
材料（ターゲット）ソフト（成膜テスト）ハード（専用装置）一貫対応
硫化物ターゲット及び専用グローブボックスも装備可能。汎用性と個別対応を両立.
3インチカソード3元を装備した標準型スパッタ装置をカスタマイズ。
専用ターゲットとグローブボックスを標準装備。
Ｌｉ系複合酸化物 硫化物等ターゲットも供給。有償にて成膜テストに対応
実績豊富な研究開発用スパッタ装置の基本仕様を踏襲、小径ターゲットを使用し大面積（φ１８０）への成膜が可能。
基板加熱ヒーターと基板水冷機構を標準装備し幅広い成膜条件を実現。
強磁性体カソードや同時スパッタ、ロードロック機構など豊富なオプションを揃えており幅広いハードへの要求に個別対応
専用ターゲットとグローブボックスを標準装備。
Ｌｉ系複合酸化物 硫化物等ターゲットも供給。有償にて成膜テストに対応
実績豊富な研究開発用スパッタ装置の基本仕様を踏襲、小径ターゲットを使用し大面積（φ１８０）への成膜が可能。
基板加熱ヒーターと基板水冷機構を標準装備し幅広い成膜条件を実現。
強磁性体カソードや同時スパッタ、ロードロック機構など豊富なオプションを揃えており幅広いハードへの要求に個別対応
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| 納期 |
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| 型番・ブランド名 | ＳRＶ3320型 |
| 用途／実績例 |
薄膜固体二次電池研究開発 化合物半導体研究開発 感光体・光デバイス研究開発 低融点材料成膜 |
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神港精機株式会社 東京支店
