高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱 乾燥・脱ガス・ベーキング・アニール 多用途対応の量産型真空オーブン
8００ｍｍ□×8００ｍｍＨ／バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。
高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。
高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。
低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。
真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品 高速加熱アニール
実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応
目的に合わせて小型からラインナップ。
６００ｍｍ□×６００ｍｍＨ／バッチの大量バッチ処理
炉内全面ヒーターの均一加熱
ドライポンプ＋ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系
高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応
基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能
炉内全面ヒーターの均一加熱
ドライポンプ＋ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系
高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応
基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能
| 価格情報 | お問合せ下さい。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
粉体の乾燥・アニール 小型部品の脱ガス・アニール 電子デバイス塗布材乾燥・焼成 樹脂成型品の塗装後の乾燥・アニール セラミックスシート乾燥 |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ポリイミドキュア装置 | ３００ｍｍ半導体ウェハのポリイミドのキュアに対応した、電子デバイス専用のキュア装置。真空置換後の低酸素濃度下にて均一加熱。 先端半導体生産ラインで実績豊富な性能と信頼性。 |
関連ダウンロード
大型真空オーブン
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
神港精機株式会社 東京支店
