神港精機株式会社 東京支店

簡易実験用スパッタリング装置(SRV3100型)

最終更新日: 2019-12-13 16:10:14.0

  • カタログ

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト化を実現。研究実験専用の標準タイプ

高い信頼性をもつ上位機種と真空槽・排気系を共通化。操作方法の手動化によって低コスト化を実現。膜種・目的に合わせて各部(カソード・基板台等)が選択可能。実績豊富な各部機構と安定した成膜性能で研究開発作業の効率化・質の向上が「図れます。

成膜系:φ3インチカソード 1元装備
   :高周波電源     1源装備 
   :基板加熱機構標準装備
   :排気系 拡散ポンプ&油回転ポンプ
操作系:全手動
オプション機構
磁性材用カソード コンベンショナルカソード DCバイアス
逆スパッタ機構 バイアススパッタ機構 基板高温加熱
主ポンプ変更(ターボ分子ポンプ採用)
全自動化
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型番・ブランド名 SRV3100型
用途/実績例 大学・公的機関での基礎研究
化合物半導体研究
金属・セラミックス表面処理処理研究開発

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