プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプルテストで開発サポート。コンパクトタイププラズマ表面処理装置
エッチング・クリーニングで実績豊富なプラズマ技術で撥水コーティングに対応。樹脂フィルム・ガラス・金属薄膜、多種の基板を撥水処理。
プロセス変更で親水化やクリーニングにも対応
コパクト・リーズナブル・高信頼性、サンプルテストでプロセス開発に協力。
実績と対応のプラズマ表面処理装置
標準２５０ｍｍ□の処理ステージで各種表面処理（撥水化・親水化・表面酸化・クリーニング）
基板と目的に合わせて各種機能プラズマモード（ＲＩＥ／ＤＰ）・ガス種（ｆ系・ＣＨ系）・基板温度（水冷／加熱）が選択可能
サンプルテストで実基板評価が可能。同コンセプト装置で大型化・連続処理化も容易
基板と目的に合わせて各種機能プラズマモード（ＲＩＥ／ＤＰ）・ガス種（ｆ系・ＣＨ系）・基板温度（水冷／加熱）が選択可能
サンプルテストで実基板評価が可能。同コンセプト装置で大型化・連続処理化も容易
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| 用途／実績例 |
樹脂フィルム撥水化 ガラス基板撥水化 各種表面処理研究開発 実装基板プラズマクリーニング |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| プラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」 | |
| プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」 |
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神港精機株式会社 東京支店
