非球面レンズのDLC膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置
実績豊富なプラズマクリーニング装置「POEM」をDLC除膜用にグレードアップ&カスタマイズ。
従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なDLC膜の除去に対応。通常のO2クリーニングプロセスだけでなくマルチガスプロセスでSi含有DLCなどカスタマイズされた各種DLC膜の除去に実績。
当然DLC除膜だけでなく成型残差や型表面の酸化層の除去、メッキ前のクリーニングにも対応。
型の仕様前後のクリーニング・表面処理に実績のプロセスを提供
250mm□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。
従来機「POEM」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とO2イオンでDLCを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。
プラズマエッチングで蓄積されたマルチガスプロセスで多様なDLC膜の除去に対応するとともに微細加工モールドの作成にも実績。DLCだけでなく有機膜エッチングや石英の微細エッチングにも対応可能なプラズマクリーニング装置
従来機「POEM」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とO2イオンでDLCを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。
プラズマエッチングで蓄積されたマルチガスプロセスで多様なDLC膜の除去に対応するとともに微細加工モールドの作成にも実績。DLCだけでなく有機膜エッチングや石英の微細エッチングにも対応可能なプラズマクリーニング装置
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用途/実績例 |
非球面レンズのDLC除膜 光ディスクスタンパ クリーニング・表面処理 樹脂成型用金型のクリーニング |
ラインアップ
型番 | 概要 |
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プラズマクリーニング装置「POEM] | 実装基板の接合前処理や樹脂の表面処理に実績豊富なプラズマクリーニング装置のベストセラー機 |
関連ダウンロード
DLC除膜装置(精密金型用プラズマクリーナー)
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神港精機株式会社 東京支店