高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティングに対応。全自動量産型装置ラインナップ。
独自開発の高密度プラズマスパッタ ADMS法（アーク放電型マグネトロンスパッタリング法）により従来に無い緻密なＡｌＮ膜を立体形状基板に成膜。
従来の10倍のイオン量の高密度プラズマスパッタを実現。他には無い高反応性スパッタで結晶性ＡｌＮを５００℃以下の低温で形成
電子デバイスから機械部品まで新たな表面機能を生み出す新薄膜形成装置
立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能
ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。
高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。
ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。
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半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等 |
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神港精機株式会社 東京支店
