最終更新日:
2023-09-25 16:21:12.0
ワールドワイドでの採用実績多数。各種電解・無電解めっき、Cuダマシン工程での自動めっき液分析に好適なソリューションを提案
当社では、大手半導体・電子部品メーカーで使用されております
NOVA社製の「半導体めっき液自動分析装置」を取り扱っております。
※2023年イスラエルの半導体向け測定機器メーカーのNOVA社がAncosys社を買収、CMD部門（ケミカル計測事業部）に統合。
各工程におけるめっき液自動分析装置として、以下のラインナップがございます。
後工程、アドバンスドパッケージ―Nova ANCOLYZER
Nova ANCOLYZERは、高度なパッケージングプロセスのための業界標準の全自動オンライン化学計測プラットフォームです。Nova ANCOLYZERは優れた分析性能を提供し、プロセスコントロールのための様々な分析技術をサポートします。このプラットフォームは、特定のプロセス分析と補充要件に合わせて構成でき、最も柔軟で拡張性のある構造に設計されています。Nova ANCOLYZERは、優れた精度と精確性、そして妥協のない信頼性と高い可用性を提供します。
基本情報に続きます。
基本情報
ダマシン銅めっき―Nova ANCOSCENE
ANCOSCENE は、ダマシン銅めっきの配線アプリケーション向けの計測システムです。この装置は、先端ノードの製造工程で使用され、世界の主要メーカーで採用されています。ANCOSCENEは、めっき浴成分の完全自動分析、プロセス時の警告、プロセス制御を提供します。ANCOSCENEは、自動検証・校正により、高速で柔軟な分析を行います。分析において、特有で高価な校正溶液や薬品は不要で、円滑が操作が可能です。
銅プリント基板、IC基板―Nova ANCOFLEX
ANCOFLEXは、銅プリント基板、IC基板の製造工程における全自動インラインでの計測システムです。ANCOFLEXはめっき浴の組成と性能の状態を寿命監視にて提供します。このプラットフォームは報告機能、制御された精度、精確性を妥協のない信頼性と高い可用性が組み合わさっています。
ユーザーフレンドリーなメンテナンス性を兼ね備えており、また国内においては当社兼松PWSにてサポートさせて頂きます。
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| 型番・ブランド名 | NOVA |
| 用途／実績例 | ヨーロッパ・北米・東南アジア・台湾・韓国・中国における、半導体量産工場（メモリ、ロジック、パワーデバイス、各種センサー等）における多数の導入実績があります。 アプリケーション例： 銅ダマシンめっき、再配線層、銅ピラー、シリコン貫通電極（TSV） めっき液：Cu、Sn、SnAg、NiAu、Indium、Eless Ni、Eless Pd、Immersion Au 大手めっき装置メーカー様との協業実績もございます。 各種めっきメーカー、製品名の実績についてもお気軽にお問い合わせください。 |
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