最終更新日:
2021-06-08 15:37:10.0
InnoLas Semiconductor社はドイツのミュンヘンに本社、ウェーハマーキング装置をグローバルに提供し続けています。
IL2000は、～200mmまでのウェーハに対応可能で、高いスループットをお求めのお客様に最適な装置です。
イノラス社のウェーハマーキング装置は、２“～450mmまでのあらゆる材料のウェーハに、先進のレーザー技術を用いてユニークな識別コードを印字します。全製造工程でトレーサビリティを可能にします。さまざまなレーザーの種類やユニークなオプションにより、お客様のご要望やご用途にお応えします。
基本情報
・対応ウェーハ：２インチ～200ｍｍ
･光源（レーザー）を変えることにより多種類の素材に印字可能
・4つのカセットステーションで高スループットを実現
・吸着式又はエッジハンドリングによるウェーハのロボット搬送
・精度の高いアライナーによる高い印字位置精度
・印字後、印字文字の読取及び位置計測（オプション）
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | Siウェーハへのマーキング 日本国内でも世界的企業で量産稼働が始まっています |
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兼松ＰＷＳ株式会社
