兼松PWS株式会社

SUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4

最終更新日: 2021-06-10 15:50:05.0
最大4インチ角基板対応 手動露光機

ズースマイクロテックMJB4は最大4インチ角基板まで対応可能な手動式マスクアライナ(露光装置)です。
シンプルな操作性、高精度アライメント、高い露光解像性が特徴です。
研究開発用途以外に少量生産用途でもご使用頂けます。

基本情報

・対応基板サイズ
小片 5×5mm~最大φ100mm
※100×100mm対応はオプション

・露光モード
コンタクトソフト, ハード, バキューム
ギャップ露光(1~300μm)
オプション:フラッド露光 分割露光

・露光光学系
波⾧
UV400 350~450nm
UV300 280~350nm
UV250 240~260nm
光源
光源水銀ランプ200W, 350W
水銀キセノンランプ500W
UV-LED ( i, h, g線対応)
面内照度均一性
標準:±4.0%(標準)
MO Exposure Optics:±2.5%(オプション)

・アライメント方式
TSAアライメント(表面アライメント)
赤外光透過アライメント(オプション)

・オプション機能
MO Exposure Optics
小片基板用対物レンズ
赤外光透過アライメント
モニター画像観察(デジタルカメラ仕様)

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 ズース・マイクロテック MJB4
用途/実績例 MEMS
アドバンスドパッケージ
3次元パッケージング
化合物半導体
パワーデバイス
太陽光発電
ナノテクノロジー
ウエハレベルオプティクス

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