最終更新日:
2020-01-27 13:43:24.0
Mipox WaferEdgePolisherはSIウエハメーカー、再生ウエハメーカーを中心に200台以上の納入実績を誇ります。
テープ・エッジ・ポリッシャーのメリット
・ウェーハへのダメージが少ない
・ウェーハエッジ上の膜(例:SiO2)の除去が可能
・ケミカルフリー加工
・ユーティリティーの接続が簡単
・様々なエッジ形状の成形が可能
・粗削りも細かい研磨も可能
・トップエッジ研磨が可能
・SiCやGaNなどの難削材料も研磨可能
・ノッチ、オリフラにも対応可能
基本情報
STD(NME)タイプ 6,8,12インチ対応
価格情報 | お問い合わせ下さい |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | Mipox Tape Edge Polisherは、研磨テープを用いたウェーハ端面研磨装置として、SIウェーハメーカー、再生ウェーハメーカーを中心に200台以上の納入実績を誇ります。 また、各種半導体基板の0.5インチウェーハから12インチウェーハまでの受託加工を承っております。 |
詳細情報
加工前形状
加工後形状例1
加工後形状例2
加工後形状例3
加工後形状例4
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
兼松PWS株式会社