コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装置 サンプルテスト&装置見学対応中
少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現
8インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりMEMS・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応
電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ
標準仕様
4インチカソード3元装備による多層成膜
ターボ分子ポンプ+油回転ポンプの高速排気
逆スパッタと基板加熱機構の標準装備による高い膜質の実現
1m□のコンパクトな筐体に多機能を実現
上位機種の各部ユニットを搭載可能
4インチカソード3元装備による多層成膜
ターボ分子ポンプ+油回転ポンプの高速排気
逆スパッタと基板加熱機構の標準装備による高い膜質の実現
1m□のコンパクトな筐体に多機能を実現
上位機種の各部ユニットを搭載可能
価格情報 | 御問合せ下さい。 |
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型番・ブランド名 | SRV4320型 |
用途/実績例 |
大学・研究機関による研究開発用途 バイオセンサー、電極、絶縁膜形成 抵抗器、電極、絶縁膜、薄膜抵抗作成 各種素子絶縁膜形成 |
ラインアップ
型番 | 概要 |
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SRV3100型 | カソード1元の最もシンプルな実験用小型スパッタリング装置 小型・コンパクト 低コスト 基礎実験用の標準機種 |
関連ダウンロード
研究開発用スパッタリング装置
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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神港精機株式会社 東京支店