ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支える実績と信頼のハード&ソフト
豊富な実績を誇るバッチ式真空半田付装置を本格量産用に展開。
従来のH2雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。
車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。
社内デモ機によるプロセスサポートと柔軟なハード対応で要求に対応。
急速昇降温機構と厳密な雰囲気制御機構を装備、半導体ウェハプロセスで実績のガス供給機構で安定した蟻酸野供給と管理を実現。
半田付室の前後に基板搬送機構を追加。ハイスループットと高いレベルのボイドレス半田付を両立。
基板・ライン構成・生産量に合わせて最適なハードを提供
半田付室の前後に基板搬送機構を追加。ハイスループットと高いレベルのボイドレス半田付を両立。
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車載用パワーデバイスモジュール量産 電力制御素子半田付量産 |
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量産用真空半田付装置(蟻酸対応タイプ)
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神港精機株式会社 東京支店