省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポンプ
豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを有したスマートドライポンプです。
●独自設計の面シールスクリューロータにより、ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。
●排気速度重視の「パワーモード」、省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。
●非腐食性ガスの場合、冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。
●ポンプコントローラを搭載しており手動運転、遠隔操作が可能です。
●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。
●ポンプ回転速度が低速なため、軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。
●キャスター付きです。
用途に応じてシールガス・パージガスなどのオプション品を用意しております。
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| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SSHシリーズ |
| 用途／実績例 |
◆主な用途◆ ●真空はんだ付け装置（パワー半導体） ●薄膜形成装置（金型・電子デバイス） ●吸着搬送用真空源（小型電子部品） ●封止装置（半導体チップ） ●断熱層減圧（ガス貯蔵タンク） |
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神港精機株式会社 東京支店
