微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省エネ・短タクトプロセスを実現 リフロー動画掲載
高密度プラズマ（SWP）による強還元性H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。
フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。
３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応
短タクトのバッチ処理で多品種少量生産やR&D用途に対応
φ３００ｍｍウェハ対応のバッチタイプ
表面波プラズマ（SWP）による高密度ダメージフリーラジカル処理
急速昇降温型ホットプレート装備
真空プロセスによるボイドレスバンプを実現
オプションでレジストアッシングに対応
サンプルテスト対応中
表面波プラズマ（SWP）による高密度ダメージフリーラジカル処理
急速昇降温型ホットプレート装備
真空プロセスによるボイドレスバンプを実現
オプションでレジストアッシングに対応
サンプルテスト対応中
| 価格情報 | 御問合せ下さい |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 御問合せ下さい |
| 型番・ブランド名 | バッチタイププラズマリフロー装置 |
| 用途／実績例 |
化合物ICウェハバンプリフロー MEMSデバイスバンプリフロー 光デバイス（LED,LD、受光素子）バンプリフロー 光モジュールバンプリフロー |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ＣｔｏＣタイプ | 量産対応プラズマリフロー装置 |
関連ダウンロード
バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
神港精機株式会社 東京支店
