フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェットレスで実現 サンプルデモ対応 リフロー動画掲載
ダメージフリーのダウンフロー型表面波プラズマの強還元性Ｈ２ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー フラックス塗布、洗浄工程 塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライＣｔｏＣシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。
チャージアップダメージフリープロセス。
信頼性の高い安定した搬送機構
均一な温度分布による３００ｍｍウェハ面内のリフロー温度プロファイル
３００ｍｍウェハの本格量産ラインに対応。各種上位通信、ＳＭＩＦポッド等規格対応。
テストから設計、納入、立上まで一貫したチームサポート
信頼性の高い安定した搬送機構
均一な温度分布による３００ｍｍウェハ面内のリフロー温度プロファイル
３００ｍｍウェハの本格量産ラインに対応。各種上位通信、ＳＭＩＦポッド等規格対応。
テストから設計、納入、立上まで一貫したチームサポート
| 価格情報 | お問合せ下さい。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ＣｔｏＣタイププラズマリフロー装置 |
| 用途／実績例 |
ウェハバンプリフロー 大型基板上微細バンプリフロー ３００ｍｍウェハ枚葉式低温アニール |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| バッチタイププラズマリフロー装置 | ３００ｍｍウェハ対応のバッチタイプ 最先端プロセスをニッチデバイスに展開。Ｒ＆Ｄおよび少量生産用 |
詳細情報
プラズマリフロー装置工程削減効果イラスト
印刷バンプ対応イラスト
関連ダウンロード
枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
お問い合わせ
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神港精機株式会社 東京支店
