ウェハプロセス対応 本格量産システム アニール・シンター・ポリイミドキュア ミニバッチ＋急速冷却機構でハイスループット対応
クリーンな真空中で均一加熱。高いクリーンネスや低酸素濃度を求められるプロセスに最適。縦型石英管型アニール装置。
最大８インチ相当のウェハや各種基板に対応。ＣｔｏＣシステム採用による自動化＆クリーンシステム。
中温から高温まで安定した温度分布性能と急令機構による短タクト処理
真空だけでなく各種雰囲気（不活性、酸化、還元）雰囲気処理も可能な多機能型熱処理装置
Ｓｉウェハへの対応を基本とし各種基板・用途に柔軟に対応カスタマイズ
サファイア、石英、ガラス、ＰＣＢ等多用途対応。
雰囲気も真空（低真空・高真空）不活性（Ｎ２，Ａｒ）酸化、還元（Ｈ２，フォーミングガス）等豊富な実績機能より選択可能。
サファイア、石英、ガラス、ＰＣＢ等多用途対応。
雰囲気も真空（低真空・高真空）不活性（Ｎ２，Ａｒ）酸化、還元（Ｈ２，フォーミングガス）等豊富な実績機能より選択可能。
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Ｓｉ半導体 配線膜アニール、高融点電極アニール、電極膜合金化、水素アニール ポリイミドキュア 化合物半導体 電極膜アニール、合金化、透明電極アニール、水素アニール 小型ディスプレイ基板 ポリＳｉアニール、酸化膜アニール、有機膜乾燥焼成 ＭＥＭＳ 配線膜・電極膜アニール、有機膜焼成 |
関連ダウンロード
縦型真空アニール装置
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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神港精機株式会社 東京支店
