優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備しています！
『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを
採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる
高密度プラズマCVD装置です。
スパッタカソードを標準装備しており、スパッタ膜との積層構造により
優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現しています。
自動車部品の表面処理用途に豊富な実績を持っており、多くの用途に採用。
また新開発のアーク放電式マグネトロンカソードを装備することで
PVDによる硬質膜も形成が可能でき、プラズマCVD＋PVD複合成膜装置への
機能拡張が容易です。
評価をご希望の方はサンプルテストをお受けしております。
その他、仕様詳細や膜質などにつきましてはお問い合わせください。
【特長】
■極めて平滑なDLC膜が形成可能：（Ra＝0.015μm以下）
■成膜レートが早い：（3μm/hr以上）
■低温成膜：（200℃以下）
■厚膜形成可能：（20μm）
■DLC膜の除膜：同一真空槽内でDLCの除膜が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【DLC膜の特長】
■摺動部品
・高硬度
・低摩擦係数＝0.1
・低い相手攻撃性
■切削工具、金型
・耐摩耗性
・非溶着性
・ドライ加工
■光学部品
・赤外通過性
・屈折率＝2
・表面平滑性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■摺動部品
・高硬度
・低摩擦係数＝0.1
・低い相手攻撃性
■切削工具、金型
・耐摩耗性
・非溶着性
・ドライ加工
■光学部品
・赤外通過性
・屈折率＝2
・表面平滑性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | お問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ お問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | ＡＡＰＩＧ－１６１１０ＤＳ |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ＡＰＩＧ－１０６０ＤＳ | 量産タイプの機能をコンパクトな筐体に装備、Ｒ＆Ｄプラス少量生産用の標準タイプ。硬質膜・表面処理用途だけでなく赤外線用光学コーティングにも対応 |
関連ダウンロード
PIG式 DLCコーティング装置
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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神港精機株式会社 東京支店
